GB/T 36053-2018? X射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準(zhǔn)直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報(bào)告

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 36053-2018 

中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：X射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準(zhǔn)直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報(bào)告

英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

主要起草單位

中國計(jì)量科學(xué)研究院 。

主要起草人

王海 、王梅玲 、張艾蕊 、宋小平 。

采標(biāo)情況

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO標(biāo)準(zhǔn)：ISO 16413:2013。

采標(biāo)中文名稱:X射線反射測量法評估薄膜的厚度、密度和界面寬度—儀器要求、準(zhǔn)直和定位、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)分析和報(bào)告。