GB/T 38447-2020 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗方法

　　標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 38447-2020

　　中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗方法

　　英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

　　中國標(biāo)準(zhǔn)分類號

　　(CCS)L55

　　標(biāo)準(zhǔn)分類號

　　(ICS)31.200

　　發(fā)布日期

　　2020-03-06

　　實施日期

　　2020-07-01

　　主管部門

　　標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

　　歸口單位

　　微機電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

　　主要起草單位

　　北京大學(xué) 、中機生產(chǎn)力促進中心 、北京智芯傳感科技有限公司 、沈陽國儀檢測技術(shù)有限公司 、浙江博亞精密機械有限公司 、中北大學(xué) 、北京必創(chuàng)科技股份有限公司 。

　　主要起草人

　　張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學(xué)貴 、朱悅 、石云波 、李海斌 、程逸軒 、周浩楠 、陳得民 。

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